VRU用真空ポンプ
真空ポンプ製品別ラインアップ（揺動式）
| 形式 | 到達真空度 kPa abs |
排気速度 m3/min |
電動機 kW |
|---|---|---|---|
| １段形 | |||
| 1003, 1006 |
5.3 | 0.1～0.4 | 0.4～5.5 |
| 1408, 1414 |
5.3 | 0.5～1.5 | 1.5～11 |
| 2020, 2026 |
4,7 | 3.0～6.0 | 15～30 |
| 2426, 2626 |
4,0 | 6.0～10.0 | 22～45 |
| 2630, 2640 |
3.3 | 10.0～14.0 | 30～55 |
| 2652, 2660 |
3.3 | 14.0～20.0 | 30～45 |
| 2630W, 2640W |
3.3 | 20.0～28.0 | 55～132 |
| 2652Z, 2660Z |
3.3 | 56.0～80.0 | 30～75 |
| 形式 | 到達真空度 kPa abs |
排気速度 m3/min |
電動機 kW |
|---|---|---|---|
| ２段形 | |||
| 1006H | 0.8 | 0.1～0.4 | 0.2～1.5 |
| 1414H | 0.8 | 0.5～1.5 | 1.5～7.5 |
| 2026H | 0,7 | 3.0～6.0 | 7.5～11 |
| 2626H | 0.6 | 6.0～10.0 | 11～22 |
| 2640H | 0.5 | 10.0～14.0 | 22～37 |
| 2660H | 0.5 | 14.0～20.0 | 30～45 |
| 2640WH | 0.5 | 20.0～28.0 | 30～55 |
| 2660ZH | 0.5 | 56.0～80.0 | 30～45 |
